TFT-LCD(초박막 액정표시장치)또는 PDP(플라즈마 디스플레이패널)등의
박막 두께를 측정하는 장비인 박막분석기가 처음으로 국산화됐다.

동희산업(대표 신선식)광기술사업부는 지난 2년간 연구끝에 지금까지
일본 등 해외에서 전량 수입해오던 반도체분석장비인 박막분석기의
국산화에 성공했다고 5일 발표했다.

이 장비는 TFT-LCD와 PDP 표면에 도포되는 물질인 PR(포토 레지스터)의
두께를 측정하고 전기광학적 특성을 분석해주는 기계로 제품 품질안정화에
필수적인 설비이다.

회사측은 개발된 박막분석기를 지난 6개월간 삼성전관 생산라인에서
테스트를 시행해 만족할만한 결과를 얻었다고 밝혔다.

이 회사 박종구 공장장은 "이 장비가 외국제품과 동일한 성능을
가지면서도 가격은 절반 이하인 7천만원 정도에 불과하다"면서 "국산화로
연간 약5백억원의 수입대체효과가 기대된다"고 말했다.

<박해영 기자>

(한국경제신문 1997년 12월 6일자).