두산기계가 벤처기업과 손잡고 반도체 제조장비 사업에 진출한다.

두산기계는 30일 벤처기업인 지니텍과 반도체 제조장비 개발 협력 조인식을
갖고 내년부터 반도체 칩 제조장비(FAB)생산에 들어갈 계획이라고 발표했다.

지니텍은 전자통신연구소 출신의 연구원들이 주축이 돼 설립된 벤처기업으로
이 분야의 기술특허를 다수 갖고 있는 첨단업체이다.

이번 계약에 따라 지니텍은 앞으로 반도체제조장비 기술및 제품개발을
담당하고 두산기계는 생산을 맡게 된다.

양사는 우선 올 연말까지 256메가D램용 웨이퍼 평탄장치(CMP)와 화학적
증착장치(PS-CVD)등 2개 시제품을 개발한뒤 내년부터 본격적인 시판에
들어갈 계획이다.

두산기계는 이를위해 병점공장의 기존 로봇자동화 설비 생산시설 일부를
FAB 제조용으로 전환했으며 오는 2천년까지 총 1백억원을 투자, 병점공장의
FAB 제조시설을 보완할 계획이다.

두산기계는 FAB부분의 연간 매출 목표액을 2백억원으로 잡고 있다.

<노혜령 기자>

(한국경제신문 1997년 5월 1일자).