국내반도체장비업계에 차세대장비개발열풍이 불고있다.

2백56메가D램 1기가D램등 차세대 반도체의 본격 출현에 대비, 향후
수요가 크게 증대될 것으로 예상되는 신제품개발에 발벗고 나서는
장비업체가 늘고있다.

한국아토엔지니어링 한양기공 미래산업 아주시스템 신성엔지니어링 등
반도체장비업체들은 "연구개발만이 살길"이라는 인식아래 연구팀을 대폭
강화, 각종 차세대장비개발에 경쟁적으로 나서고있다.

한국아토엔지니어링이 최근 차세대장비인 HDP CVD(고밀도 플라즈마
화학적증착장비)의 개발에 착수한 것을 비롯 한양기공은 8인치웨이퍼
카세트레스 웨트스테이션의 개발에 들어갔다.

또 미래산업은 인덱스타임을 대폭 단축시킨 메모리테스트핸들러를,
아주시스템은 다양한 종류의 디바이스타입 핸들러를, 신성엔지니어링은
크기와 중량을 대폭 줄인 슬림형 팬필터유니트의 개발에 각각 나섰다.

반도체장비업계가 신제품개발에 이처럼 적극적인 것은 2백56메가D램
1기가D램시대에 대비, 이에 맞는 차세대장비를 개발해나가야만 경쟁에서
살아남을수있다는 판단에서 비롯된 것으로 풀이된다.

반도체가 고밀도 고집적 대용량화됨에 따라 반도체장비역시 보다 기능이
강화되고 고부가가치화된 제품을 개발해야만이 경쟁력을 갖출수있다는 것.

이같은 움직임은 현재 세계제일의 반도체메모리생산국이면서도 국내시장의
94%를 수입에 의존하고있는 국내반도체장비업계의 영세성탈피에 기폭제
역할을 할 것으로 기대된다.

가스캐비닛및 정글박스업체인 한국아토엔지니어링은 총 33억원을 투입,
고밀도 플라즈마 화학적증착장비를 개발키로하고 최근 21명으로 구성된
개발팀을 발족시켰다.

이 장비는 차세대 반도체소자의 프로세스를 위한 필연적인 장비로
고온증착을 해야하는 기존 화학적 증착장비의 단점을 해소한 제품이다.

특히 고밀도 이온화율과 저온도공정을 가능케하는 장점을 갖췄다.

플라즈마를 이용한 전자공명장치를 채용, 저온공정으로 선폭간의
확산방지와 전류 및 전압손실을 크게 줄여주는등 향상된 회로형성을
가능케한다.

한국아토엔지니어링은 각종 프로세스장비를 개발, 오는2천년대 세계10대
장비메이커로 발돋움한다는 장기계획을 수립해놓고있다.

가스캐비닛과 웨트스테이션(반도체순수세정장비)을 생산하는 한양기공도
최근 가스를 분배해서 반도체에 공급시켜주는 장비인 VMB(가스공급장비)를
개발한데 이어 5억원을 투입, 8인치 카세트레스 웨트스테이션을 올해안에
개발할 계획이다.

8인치 카세트레스는 기존제품과 달리 로보트가 카세트없이 웨이퍼만
핸들링하는 차세대장비로 화학약품의 순도저하를 방지, 세정효과를 크게
제고시킨 것이 특징이다.

반도체테스트핸들러전문업체인 미래산업은 반도체테스트처리속도를
3분의 1로 줄인 핸들러를 오는 4월께 개발완료, 보급에 나설 예정이다.

이 제품은 IC가 갈수록 고가화 되는 것을 감안, 테스트처리의 불량률을
대폭 줄였다.

핸들러 및 핸들러에 부착되는 설비인 벌크로더를 생산하고있는
아주시스템도 수직식 수평식핸들러의 신모델을 올해상반기중 내놓을
계획이다.

신성엔지니어링역시 반도체클린룸내의 먼지를 제거해주는 장치인
팬필터유니트를 슬림형으로 개발할 방침이다.

크기와 중량을 줄여 운반하기 편리하고 소비전력과 소음을 줄인 제품을
올해 상반기중으로 개발완료키로했다.

한국아토엔지니어링의 김선갑이사는 "많은 장비업체들이 영세한 나머지
기술축적이 되지못했다"면서 "업계가 선진국과의 기술제휴를 통한 개발에
적극적인 만큼 정부의 적극적인 지원이 필요하다"고 말했다.

< 신재섭기자 >

(한국경제신문 1996년 2월 22일자).