테스, 태양전지 가스 차단 장치 특허 취득

입력2013.03.12 10:28 수정2013.03.12 10:28

테스는 12일 플렉시블 박막 태양전지의 가스차단장치에 대한 특허를 취득했다고 공시했다.

회사 측은 "이 기술을 이용하면 챔버 내로 유입되는 공정 가스 또는 외부의 공기를 배기 홀로 유도해 다음 공정이 진행되는 프로세스 챔버로 공정 가스 또는 외부의 공기가 유입되는 것을 안정적으로 방지할 수 있다"고 설명했다.

한경닷컴 정인지 기자 injee@hankyung.com

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