테스 "마그네트론 스퍼터링 장치 관련 특허권 취득"

입력2010.12.13 11:41 수정2010.12.13 11:41

테스는 13일 마그네트론 스퍼터링 장치 관련 특허권을 취득했다고 공시했다.

회사 측은 "이번 특허는 반도체 및 태양전지 제조 장치와 관련된 것"이라며 "장비 제조 시 특허기술 적용을 통해 기술과 원가경쟁력를 강화할 계획"이라고 밝혔다.

한경닷컴 변관열 기자 bky@hankyung.com

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