주성엔지니어링이 국내에서 2건의 특허권을 취득했다고 공시했다.

액정표시장치용 증착 장치에 관한 특허권은 반응가스를 균일하게 분산시킬 수 있는 증착 장치에 관한 특허로, 반도체, FPD, 태양전지 장비의 경쟁력 강화에 이용될 예정이다.

이와 함께 형상 조절이 자유로운 유도결합형 플라즈마 발생용 안테나 장치에 관한 특허도 취득했다.

유주안기자 jayou@wowtv.co.kr