삼성전자와 하이닉스반도체가 국내 반도체 장비업체들이 개발하는 첨단 장비를 구매해 주는 방식으로 대부분 수입에 의존해온 반도체 장비의 국산화를 지원하기로 했다.

지식경제부는 7일 이 같은 내용의 '반도체장비 상용화 기술개발 사업'에 앞으로 3년간 585억원(정부 360억원,민간 225억원)을 투입하기로 했다고 발표했다.

이 사업은 수요 기업인 삼성전자와 하이닉스가 국내 장비업체들의 장비 개발이 성공할 경우 구매해 주겠다는 확약을 전제로 진행되는 게 특징이다. 장비 업체들은 3년간 정부의 연구개발(R&D) 자금을 지원 받아 외국 업체들이 아직 양산하지 않는 차세대 장비와 30나노미터(㎚:10억분의 1m) 이하 반도체 생산에 사용되는 7개의 핵심 장비를 개발할 예정이다.

유진테크,디엠에스(DMS),케이씨테크(KC Tech) 등 3개사는 삼성전자와 하이닉스의 공동 구매 확약을 바탕으로 기술 개발에 나선다. 에스앤유(SNU)프리시젼과 국제일렉트릭코리아가 개발하는 장비는 삼성전자가,에이피티씨(APTC)와 주성엔지니어링이 상용화할 장비는 하이닉스가 사주기로 했다.

류시훈 기자 bada@hankyung.com