유진테크가 LCD제조장비용 서셉터등 특허3개를 취득했습니다. 유진테크는 공시를 통해 싱글 웨이퍼 챔버 방식의 화학기상 증착 장치를 이용한 산화방지막 제조장치와 변형 방지용 보강구조를 갖는 LCD 제조장비용 서셉터, 파티션 구조형 가열 유닛과 이를 이용한 히팅장치 등에 관한 특허 3개를 취득했다고 밝혔습니다. 전준민기자 jjm1216@wowtv.co.kr