나노종합팹센터 본격 가동
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나노기술 연구의 핵심 기반시설인 나노종합팹(Fab)센터가 16일 가동에 들어갔다.
과학기술부는 이날 오전 대덕 한국과학기술원(KAIST)에서 나노종합팹센터 준공식을 열고 산ㆍ학ㆍ연 나노기술 연구자를 대상으로 팹 이용 서비스에 나섰다.
이 센터는 10나노미터(1㎚는 10억분의 1m) 이하의 초미세 패턴을 형성시킬 수 있는 전자빔 장비와 나노구조 분석용 초미세 시편 제작이 가능한 집속 이온빔(FIB)장치 등 최첨단 장비를 갖추고 있다.