주성엔지니어링은 반도체 제조용 챔버의 배기 시스템 관련 특허를 취득했다고 밝혔다.

주성엔지니어링은 이번 특허가 반도체 제조용 챔버에 부설되는 배기 시스템에 관한 것으로, 챔버 내부 전면적에 보다 균일한 배기압력을 부여할 수 있는 배기시스템을 제공한다며 반도체 장치의 경쟁력 강화에 기여할 것이라고 설명했다.

김양섭기자 kimys@wowtv.co.kr