아펙스는 27일 다채널 플레이트를 구비한 증착장치에 대해 특허취득했다고 밝혔다. 또 진공 버퍼 챔버를 구비한 핫플레이트 장치에 대해서도 특허를 취득했다. [한경닷컴 뉴스팀]