LG전자 생산기술원에서 개발한 "Mac/Mic 검사장치"(모델명:LGMMI-100MS)는 LCD(액정표시장치) 기판 제조공정에 쓰이는 검사장비다. LCD 기판 제조공정중 발생할 수 있는 이물 및 얼룩을 작업자가 확인해 각 공정별 이상 상태를 감지할 수 있게 해준다. 또 각 패널별 상태(Good/NG/Repair)를 판별해 검사이후 공정을 어떻게 진행시킬 것인지 판단하게 해준다. 지난 99년말 10억원을 개발비를 투입,2년여간의 연구끝에 올해초 개발을 끝냈다. LG생산기술원 IM그룹 소속 9명의 연구원이 참여했다. 이번에 개발된 검사장치는 3가지 주요기능을 갖고있다. 첫째는 마이크로(Micro) 검사기능으로 5~100배 대물 렌즈를 통해 각 픽셀(Pixel)을 확대 검사하는 것이다. 둘째는 매크로(Macro) 검사기능으로 주로 대형 얼룩을 판별하기 위한 기능이다. 셋째는 CIM 기능으로 MPS,Pattern 검사장치 등과 검사정보를 공유해 불량위치를 파악한 후 레이저를 통해 수정가능여부를 파악하는 데 도움을 주는 기능이다. LG전자 생산기술원은 이번에 개발한 장치가 기존 제품에 비해 정밀도가 뛰어나며 검사과정에 드는 비용도 줄일 수 있으며 적용분야도 넓다고 설명했다. 또 매크로 조명의 경우 개당 교체 비용이 15만원 이내로 저렴해 한 공장에서 한달에 조명 20개만 교체 하더라도 4천만원의 비용절감 효과가 있다고 LG생산기술원은 밝혔다. 이번 검사장치 개발을 주도한 LG생산기술원 신평은 책임연구원은 "현재 Mac/Mic 검사장치의 경우 일본 올림푸스(Olympus)가 독점 생산하고 있을 뿐 아니라 국내 LCD 업체의 신규라인 증설시 올림푸스만 납품실적을 보유하고 공급을 제안하고 있는 실정"이라고 말했다. 그는 특히 "Mac/Mic 검사장치는 LCD업체의 신규라인 증설이나 기존라인의 생산량 증가에 따라 소요 대수가 증가하고 있는 추세여서 이번 국산화로 향후 막대한 수입대체 효과를 거둘 수 있게 됐다"고 덧붙였다.