반도체 세정설비 핵심장치 국산화..한국디엔에스, '일드업드라이어'

반도체 전공정 장비생산업체인 한국디엔에스(대표 박창현)는 반도체 세정설비 핵심장치인 ''일드업 드라이어(Yieldup Dryer)''를 국산화했다고 22일 밝혔다.

미국 FSI로부터 기술을 이전받아 자체 생산에 들어간 ''일드업 드라이어''는 세정공정 가운데 웨이퍼를 린스 및 건조하는 웨트스테이션의 핵심 설비로 그동안 국내에선 전량 수입해 사용했다.

박창현 사장은 "오는 3월부터 연 40∼60대를 생산하는 웨트스테이션 제품에 자체 생산한 일드업 드라이어를 장착할 계획"이라며 "대당 최대 6억원에 달하는 이 설비를 차세대 공정에도 적용해 연간 30억원 이상의 원가절감 효과를 볼 것으로 기대한다"고 말했다.

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김동욱 기자 kimdw@hankyung.com