신성이엔지(대표 이완근)가 반도체 제조공정에서 쓰이는 웨이퍼 자동창고
장치인 스토커시스템(stocker system)을 미국의 PRI사와 공동 개발했다고
29일 밝혔다.

이 시스템은 반도체 공정자동화의 핵심장비로서 웨이퍼를 저장하거나 옮길
때 초청정 상태를 유지시키는 역할을 한다.

최적의 공정분위기를 조성해 수율을 향상시키고 생산라인 인원을 최소화
하는 기능도 한다.

이 시스템은 그동안 미국의 PRI사, 일본의 다이후쿠 등 선진 업체들이
세계시장을 주도해왔다.

국내 개발은 처음이다.

이번에 개발한 시스템은 현재의 반도체 주력제품인 64메가D램은 물론
1백28메가 D램, 2백56메가D램과 1기가D램 등 차세대 제품생산에도 활용할
수 있다.

신성이엔지는 충북 음성 공장을 개조해 올해말까지 연간 3백대 생산체제를
구축하고 내년 1월부터 제조를 시작키로 했다.

이에따라 연매출이 3백억원이상 늘 것으로 보고 있다.

수입대체와 함께 미국 동남아 유럽 등 해외시장도 개척키로 했다.

수출은 PRI사를 통해 이뤄질 예정이다.

이 회사는 지난해 분당에 미국의 PRI사와 합작법인인 한국PRI를 설립하고
공동으로 기술을 개발해 왔는데 제품은 신성이엔지를 통해 생산할 계획이라고
밝혔다.

신성이엔지는 공동개발과정에서 부품을 1백% 국산화했다.

반도체용 클린룸을 주로 생산해온 신성이엔지는 이 분야에서 세계 최고
수준의 설계 기술을 보유하고 있는 것으로 평가받고 있다.

작년에는 2백56메가 D램급 이상의 차세대 반도체 제조공정에 필수적인
스미프(SMIF)시스템을 세계 세번째로 개발한 바 있다.

이 시스템은 반도체공정중 국부적으로 청정도를 유지시키는 장비다.

한편 기술제휴선인 PRI는 미국 보스턴에 본사를 두고 있으며 스토커
시스템과 이 시스템을 이송하는 트랙, 운반용구 및 소프트웨어 등 반도체
제조공정용 자동물류장비를 생산하고 있다.

(02)2639-3731

< 김낙훈 기자 nhk@ >

( 한 국 경 제 신 문 1999년 9월 30일자 ).