LG반도체는 256메가 D램,기가 D램등 차세대 D램 반도체의 양산에
적합한 초고순도 웨이퍼인 "결함제어 웨이퍼"를 독자적으로 개발했다고
23일 발표했다.

결함제어 웨어퍼는 웨이퍼 자체의 품질불량으로 인한 반도체 불량요인은
제거해주는 기능을 한다.

지난 97년말 연구개발에 착수,1년여만에 개발에 성공한 이 웨이퍼는
고온열처리로 웨이퍼 표면의 산소원자와 불순물 등을 없앤게 특징이다
따라서 고집적소자 제조에 적합한 특성을 갖추고 있다고 이회사는 설명했다.

LG반도체는 특히 이 웨이퍼는 균일성과 기계적 강도 등이 뛰어나 256
메가 D램에 적용해본 결과 수율향상 등에도 큰 효과가 있는 것으로 확인
됐다고 덧붙였다.

이 회사 관계자는 관련기술을 국내 및 해외에 특허 출원중이며 세계유수의
웨이퍼 제조업체로부터 상당한 로열티수입을 올릴 수 있을 것으로 기대된다
고 말했다.

LG는 향후 이기술을 256메가D램의 양산과 12인치 웨이퍼 제조에 확대
적용하게 되면 매년 1천억원 이상의 수율 향상효과도 거둘 수있을 것이
라고 밝혔다.

박주병 기자 jbpark@

( 한 국 경 제 신 문 1999년 2월 24일자 ).