어플라이드머티리얼즈코리아(대표 이영일)는 기존제품보다 성능을 2배
이상 향상시킨 레티클 검사장비 RT-8200을 개발, 국내보급에 나섰다.

레티클은 반도체 웨이퍼 가공공정중 최상층부에 회로패턴을 정확하게
복사하는 과정.

이 장비는 새로운 이미지 획득 기술 및 선폭에러검출(LWED)알고리즘을
통해 회로패턴의 초미세 결함까지 탐지 가능하도록 설계된 것이 특징.

또 2차영상가공채널과 특수카메라를 장착,패턴 데이터의 전송속도를
2배이상 향상시켰다는 것이 회사측의 설명이다.

< 노웅 기자 woongroh@ >

( 한 국 경 제 신 문 1998년 10월 10일자 ).