한국과학기술원 전산학과 이광형 교수팀은 미국 AIO사(대표 김인곤)와
공동으로 반도체 제조장비의 하나인 코터(Coater)를 국내처음으로
개발했다고 13일 밝혔다.

이 장비는 실리콘웨이퍼 표면에 회로를 새겨넣기 위해 감광제를 균일하게
칠하고 사진을 찍은 뒤 현상하는 기능을 담당하는 반도체칩생산 전공정의
핵심장비이다.

이번에 개발된 코터는 특히 모듈화방식을 채택, 유지보수를 용이하게
한 점이 특징이다.

또 사용자의 요구에 따라 부품구성을 쉽게 바꿀수 있어 다양한 기능을
제공할수 있으며 이원화된 사용자 소프트웨어구조로 설계해 대량생산시
높은 생산성을 유지할수 있다.

이교수는 "이 장비는 현대전자연구소에 납품해 현장테스트를 완료했으며
올해부터는 생산성을 높이기 위해 복층구조의 인공지능기법을 접목시킨
장비를 개발할 것"이라고 말했다.

한편 AIO사는 교포 김인곤씨가 지난 88년 실리콘밸리에 설립, 지난해
2천만달러의 매출을 올린 반도체장비제조업체이다.

< 김재일 기자 >

(한국경제신문 1998년 1월 14일자).