국내에서 처음으로 화학적에칭방법을 이용 죠셉슨소자를 만드는
기술과 이기술을 응용한 고온초전도양자간섭소자(DC-SQUID)가 개발됐다.
삼성종합기술원은 30일 저가의 화학혼합용액을 이용한 화학적에칭방법
으로 죠셉슨소자를 제작하는 기술과 고온에서 초전도현상을 나타내는
초전도양자간섭소자를 개발했다고 밝혔다.
죠셉슨소자는 아주얇은 절연층으로 연결돼있는 두개의 초전도체를
이용한소자로서 고감도 의료기기 초고속 수퍼컴퓨터 마이크로웨이브
통신분야에 쓰이는 핵심부품이며 초전도양자간섭소자는 두개의 죠셉슨
소자를 접합해 만든것으로써 현존하는 자계측정센서중 가장 감도가 우수
한 소자이다.
삼성측은 이번에 성공한 화학적에칭방법이 기존의 이온밀링시스템보다
공정이단순해 대량생산이 가능하고 재현성에 많은 잇점을 갖고있을
뿐만아니라 저가의 화학혼합용액을 사용 생산비가 저렴하다고 설명했다.